采用催化燃燒法處理vocs，利用貴金屬（鉑、鈀、釕等）作為催化劑，通過燃燒分解消耗廢氣中的污染物，幾乎可以處理所有VOCs。利用貴金屬(鈀、鉑)的催化作用，將揮發(fā)性有機化合物的氧化溫度降低到280℃，當廢氣中有機物經催化氧化后所產生的熱量足夠維持催化劑床層的反應溫度，而不需要對廢氣進行預加熱的催化氧化過程，從而達到節(jié)省能耗的作用。催化氧化幾乎可以處理所有的烴類有機廢氣及惡臭氣體，即它適用于濃度范圍廣、成分復雜的各種有機廢氣處理。對于有機化工、涂料、絕緣材料等行業(yè)排放的低濃度、多成分，又沒有回收價值的廢氣，采用吸附-催化氧化法的處理效果更好。

通過控制脫附過程流量可將有機廢氣濃度濃縮很多倍，脫附氣流經催化床內設的電加熱裝置加熱至一定溫度后，在催化劑作用下起燃，催化燃燒過程凈化效率是很高的，燃燒后生成CO2和H2O并釋放出大量熱量，該熱量通過催化燃燒床內的熱交換器一部分再用來加熱脫附出的高濃度廢氣，另外一部分加熱室是對外來的空氣做活性碳脫附氣體使用，達到熱平衡后可關閉電加熱裝置，這樣就可以靠廢氣中的有機溶劑做燃料，使再生過程達到自平衡循環(huán)，大大的減少能耗，不會有二次污染產生。