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在VOCs熱氧化設計中，有一個很重要的參數(shù)是VOCs的破壞效率。決定破壞效率的主要因素有三個，也叫“3T”，即：時間（Time）、溫度（Temperature）和湍流（Turbulance）。還有第四個需要考慮的因素是剩余氧含量（過剩空氣系數(shù)）。VOCs 破壞效率在這四個參數(shù)都被設置為合適的范圍內(nèi)時，可高達 99.99%以上。
操作溫度是影響 VOCs 破壞效率最重要的因素。一般來說，熱氧化器的操作溫度在760~1200℃。用于估計破壞某有機物所需溫度的方法是其自燃點溫度（ATI）。自燃點溫度是可燃混合物可在環(huán)境中吸收足夠的熱量以發(fā)生自燃的溫度。自燃點溫度高的物質(zhì)通常更加難于破壞。一般 VOCs 的自燃點溫度如表 3-1 所示。
| 化合物 | 自燃溫度℃ | 化合物 | 自燃溫度℃ |
| 丙酮（C3H6O） | 465 | 硫化氫（H2S） | 260 |
| 苯（C6H6） | 592 | 馬來酸酐（C4H2O3） | 477 |
| 丁二烯（C4H6） | 449 | 甲烷（CH4） | 537 |
| 正丁醇（C4H10O） | 367 | 甲醇（CH4O） | 470 |
| 一氧化碳（CO） | 609 | 甲乙酮（C4H8O） | 516 |
| 氯苯（C6H5Cl） | 674 | 二氯甲烷（CH2Cl2） | 640 |
| 二甲基硫醚（C2H6S） | 206 | 硝基苯（C6H5NO2） | 496 |
| 乙烷（C2H6） | 510 | 苯酐（C8H4O3） | 584 |
| 乙酸乙酯（C4H8O2） | 486 | 丙烷（C3H8） | 468 |
| 乙醇（C2H6O） | 426 | 丙烯（C3H6） | 504 |
| 乙苯（C8H10） | 466 | 苯乙烯（C8H8） | 491 |
| 一氯乙烷（C2H5Cl） | 518 | 三氯甲烷（CHCl3） | 500 |
| 二氯乙烯（C2H2Cl2） | 413 | 甲苯（C7H8） | 536 |
| 乙二醇(CH2OH)2 | 413 | 醋酸乙烯（C4H6O2） | 427 |
| 氰化氫HCN（無機） | 538 | 二甲苯（C8H10） | 495 |
